氟氮混合气的生(sheng)(sheng)产过(guo)(guo)程比较复杂，工(gong)艺技(ji)术难度大，且由(you)于氟(fu)气是强氧化剂，生(sheng)(sheng)产过(guo)(guo)程中(zhong)对环境(jing)、设(she)备、控制、安防(fang)的要求较高，氟(fu)氮混合气生(sheng)(sheng)产分为氟(fu)气提纯(chun)和混合充装两个步骤。
氟(fu)氮混合气应用范围和前(qian)景极其广阔，是原子能工业、含氟(fu)电子特(te)气、氟(fu)化石墨、多(duo)种氟(fu)化物(wu)、医药中间(jian)体等(deng)的原料。同(tong)时还是一些特(te)殊材(cai)料表(biao)面(mian)改性的理想材(cai)料。
作为(wei)当今理想的(de)蚀(shi)刻(ke)气体之一且氟气不会造(zao)成(cheng)温室效(xiao)应(ying)，被应(ying)用(yong)于集(ji)成(cheng)电路和各种电子元器件的(de)生产，半导体制造(zao)工艺中CVD腔(qiang)室的(de)清洗，在(zai)半导体领域极具(ju)市场潜力(li)。
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