三氟化氯（chlorine trifluoride）是无机化合物(wu) ，分(fen)子式为ClF₃，分(fen)子量为92.45。有毒(du)，有强腐蚀(shi)性(xing)，常(chang)温下为无色气体，降温变为绿色液体。
可(ke)用作氟(fu)化剂、燃(ran)烧(shao)剂、推(tui)进剂中(zhong)的氧(yang)化剂、高温金(jin)属的切割(ge)油等。在(zai)半导体(ti)工业(ye)中(zhong)，三氟(fu)化氯被用于清洁化学气相沉积的反(fan)应(ying)舱。它(ta)具有不需拆(chai)卸反(fan)应(ying)舱就可(ke)以清除舱壁附着(zhe)的半导体(ti)物质这一优(you)点。与(yu)其它(ta)代(dai)替的清洁剂不同，三氟(fu)化氯在(zai)使(shi)用前不需经过等离子体(ti)激化，因(yin)为反(fan)应(ying)舱残存(cun)的热量就足以使(shi)它(ta)分解并与(yu)半导体(ti)材料反(fan)应(ying)。
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