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四氟化碳是一种无色、无臭、不燃的(de)可(ke)压缩惰性(xing)气体(ti)。它(ta)是目前微电(dian)子(zi)工业中用(yong)量最大(da)的(de)等(deng)离(li)子(zi)烛刻气体(ti)，广泛应(ying)用(yong)于硅(gui)、二氧化硅(gui)、氮化硅(gui)、磷硅(gui)玻璃及钨(wu)薄膜(mo)材料的(de)烛刻。 在电(dian)子(zi)器(qi)件表面(mian)清洗(xi)、太阳能电(dian)池(chi)的(de)生产、激光技术、气相绝缘、低(di)温制冷(leng)、泄(xie)漏检(jian)验(yan)剂、控制宇(yu)宙火箭姿态、印刷电(dian)路生产中的(de)去污剂等(deng)方(fang)面(mian)也大(da)量使用(yong)。

电子级四氟化碳技术指标：

包(bao)装容(rong)器(qi)：规格齐全，按客户要求配置。