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VMP阀门分配箱的设计与应用

发(fa)布时间:2023-01-18 | 游览(lan):379

内容摘要:阀门分配箱(VMB)通(tong)常用于输送特殊气体(ti)。

阀门分配箱(VMB)通常用于输送(song)特(te)殊气(qi)体(ti)。在(zai)半导体(ti)、光伏(fu)太(tai)阳(yang)能、 IC芯片(pian)的(de)(de)生产领域中(zhong)(zhong),VMB广(guang)泛用于磷化(hua)(hua)氢(qing)、硼烷、硅烷、硫(liu)化(hua)(hua)氢(qing)、硫(liu)化(hua)(hua)氢(qing)、易燃易爆的(de)(de)、有(you)毒气(qi)体(ti)等应用中(zhong)(zhong)。近(jin)年来(lai),智研数据研究中(zhong)(zhong)心随着中(zhong)(zhong)国VLSI、平板显(xian)示器、光伏(fu)发电等行业的(de)(de)快速(su)发展(zhan),对电子燃气(qi)市(shi)场的(de)(de)需(xu)求明显(xian)增(zeng)加(jia),电子特(te)种气(qi)体(ti)的(de)(de)本地化(hua)(hua)已成为趋势时代。

据了(le)(le)(le)解,中国在(zai)本地化方(fang)面(mian)取得了(le)(le)(le)可喜的(de)进(jin)展:国内高纯度氨(an)气改(gai)变了(le)(le)(le)外国天然气公司的(de)垄断(duan)市场,高纯度四氟化碳“宝贵而(er)无(wu)货”的(de)时代也结束(shu)了(le)(le)(le)。高纯度氯化氢已在(zai)中国成功开放。市场。因(yin)此,阀门分配系统的(de)应用(yong)将越来越广泛。

特殊气(qi)体VMB应设(she)计有进气(qi)管隔离(li)阀和压力(li)(li)指示装置;气(qi)路(lu)应配备(bei)(bei)一个独(du)立(li)的(de)压力(li)(li)控制调节阀、过(guo)滤器、过(guo)流开关(guan);气(qi)体分支应设(she)有独(du)立(li)的(de)出(chu)口隔离(li)阀;管道上应配备(bei)(bei)单独(du)的(de)吹扫(sao)气(qi)设(she)备(bei)(bei)、辅助真空设(she)备(bei)(bei)等(deng)。

对于惰性气(qi)(qi)体(ti),应(ying)(ying)提供进气(qi)(qi)管路隔离阀(fa)和压(ya)力指示装(zhuang)置;气(qi)(qi)路应(ying)(ying)配备独(du)立的(de)压(ya)力控制调节阀(fa)、过(guo)滤器;气(qi)(qi)体(ti)分歧应(ying)(ying)配备独(du)立的(de)出口隔离阀(fa)。

电子(zi)(zi)气(qi)(qi)体(ti),特(te)(te)别是(shi)(shi)危险的(de)特(te)(te)殊气(qi)(qi)体(ti),是(shi)(shi)集成(cheng)(cheng)电路(lu)、光电、微电子(zi)(zi)学,尤其(qi)是(shi)(shi)VLSI、液晶显示设备、半(ban)导(dao)体(ti)发(fa)光器件(jian)(jian)和半(ban)导(dao)体(ti)材料(liao)的(de)制(zhi)造工(gong)艺中必不(bu)可(ke)少的(de)基本支撑(cheng)材料(liao),这种材料(liao)被称为电子(zi)(zi)工(gong)业(ye)的(de)“血液”和“食品(pin)”,其(qi)纯(chun)度(du)和清洁度(du)直接影响着(zhe)光电产品(pin)的(de)质量。、微电子(zi)(zi)元件(jian)(jian)的(de)质量、集成(cheng)(cheng)度(du)、的(de)具体(ti)技术(shu)指(zhi)标和良率(lv),从根本上限(xian)制(zhi)了(le)电路(lu)和器件(jian)(jian)的(de)准确性(xing)和准确性(xing)。 VMB的(de)引入是(shi)(shi)一(yi)对多(duo),点对点分(fen)支的(de)核(he)心(xin)单元。不(bu)仅保(bao)证了(le)多(duo)点用气(qi)(qi),而且确保(bao)了(le)用气(qi)(qi)的(de)安全。

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