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气体管道系统中气体与管道的关系

发布时间:2022-12-21 | 游(you)览:431

内容摘(zhai)要:气体(ti)(ti)管道系统中气体(ti)(ti)与管道的关系: 近年来(lai)以大规模集(ji)成电路为代表(biao)的微(wei)电子产品生产对高纯气体(ti)(ti)的纯度和杂质(zhi)含量的日(ri)(ri)益严(yan)格的要(yao)求,使(shi)高纯气体(ti)(ti)的配管技术(shu)日(ri)(ri)益受到关注(zhu)和重视。

气体管道系(xi)统中气体与(yu)管道的关系(xi):

近年来以大规模集成电(dian)路为(wei)代表(biao)的(de)(de)微电(dian)子产(chan)品生产(chan)对(dui)高(gao)(gao)纯(chun)气体的(de)(de)纯(chun)度(du)和(he)杂质含量的(de)(de)日益严(yan)格的(de)(de)要求,使(shi)高(gao)(gao)纯(chun)气体的(de)(de)配管技术日益受到关注和(he)重视。以下针对(dui)高(gao)(gao)纯(chun)气体输送(song)从选材到施(shi)工以及验收、日常管理作个简单的(de)(de)概述。

常见气体的种类

电子行业中常见气(qi)体的分(fen)类:

普通气(qi)体(ti),也称大宗气(qi)体(ti) (Bulk gas ):氢气(qi)(H2)、氮气(qi)(N2)、氧气(qi)(O2)、氩气(qi)(A2)等

特种气体(Specialty gas )主要有(you) SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6„„等(deng)等(deng)

特殊气(qi)(qi)体的种类一般(ban)可分(fen)为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般(ban)常用的半导体气(qi)(qi)体分(fen)类如下:

(一)、腐蚀性(xing) / 毒(du)性(xing):HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 „等

(二)、可(ke)燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO„等

(三)、助(zhu)燃性:O2、Cl2、N2O、NF3„等

(四)、惰性(xing):N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He„等(deng)

半导(dao)体气体很多是对人(ren)体有(you)害。特(te)别是其中(zhong)有(you)些(xie)气体如(ru)SiH4的自燃性,只要一(yi)泄漏(lou)就会与空气中(zhong)的氧气起剧(ju)烈反应,开始燃烧;还有(you)AsH3的剧(ju)毒性,任何(he)些(xie)微的泄漏(lou)都可能造成人(ren)员生命(ming)的危害,也就是因为这些(xie)显而易见的危险,所以对于系统设(she)计安全性的要求就特(te)别高。

高(gao)纯(chun)气配管(guan)(guan)技术(shu)是高(gao)纯(chun)气体管(guan)(guan)道系统(tong)的(de)重要组(zu)成部分,是能否将合(he)符要求的(de)高(gao)纯(chun)气体送至(zhi)用(yong)气点仍(reng)保持质量(liang)合(he)格的(de)关键技术(shu);所谓(wei)高(gao)纯(chun)气配管(guan)(guan)技术(shu)包括系统(tong)的(de)正确设计、管(guan)(guan)件(jian)及附件(jian)的(de)选择(ze)、施(shi)工安装和试(shi)(shi)验测(ce)试(shi)(shi)等(deng)内容(rong)。

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