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特气管道工程中气体尾气如何处理?

发布时间:2022-12-14 | 游览:474

内容(rong)摘要:随着半(ban)导体行业的蓬(peng)勃发展,对其配(pei)套项(xiang)目也(ye)提出了更(geng)高要求。

随着半导(dao)体(ti)行业的蓬勃发(fa)展,对(dui)其配套项目也提出了(le)更高要(yao)求。特(te)种气(qi)(qi)体(ti)供应没有形成有效的系(xi)统,钢瓶凌(ling)乱(luan)(luan),管理混(hun)乱(luan)(luan),不(bu)相容气(qi)(qi)体(ti)混(hun)放等问题比(bi)较严重,极大的影响到(dao)用(yong)气(qi)(qi)安全。那么特(te)气(qi)(qi)管道工(gong)程(cheng)中气(qi)(qi)体(ti)尾气(qi)(qi)如何处理?

特(te)种气体尾气处理方式(shi)

特(te)种气体对身体健康以(yi)及环(huan)境都会产生很(hen)大的(de)危害,如何处理特(te)气尾气,用(yong)什么设备处理,这里(li)将会进行深(shen)入介绍。

特种气体尾气现状

尾(wei)(wei)气(qi)作(zuo)为特气(qi)系统的(de)衍生物不可避免(mian)的(de)存在(zai)。过去,在(zai)很多(duo)高校(xiao),由(you)于实验(yan)室用(yong)气(qi)量不大,建设(she)单位的(de)业主没有充(chong)分意识到(dao)尾(wei)(wei)气(qi)的(de)排放(fang)问题,随着更多(duo)半(ban)导体(ti)工(gong)厂雨后春笋的(de)涌现,生产用(yong)特气(qi)尾(wei)(wei)气(qi)的(de)排放(fang)越(yue)来越(yue)多(duo)的(de)引起了重视。那么怎么排放(fang),如何排放(fang)成(cheng)为摆在(zai)很多(duo)用(yong)户面前(qian)的(de)问题。

特(te)气系(xi)统尾气排放处理装置的处理方式:

尾气处(chu)理装置的(de)类型,应(ying)根据所(suo)处(chu)理的(de)排气中特(te)种气体(ti)的(de)特(te)性进行选择,不相容特(te)种气体(ti)应(ying)分别(bie)设置尾气处(chu)理装置;

尾(wei)气处理装置应靠(kao)近GR、GC等特种气体设备布置;

特种气(qi)体尾(wei)气(qi)处(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)方(fang)法宜(yi)采用干(gan)式(shi)处(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)吸附、湿式(shi)洗涤、加热(re)分解处(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)、燃烧处(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)、等离子分解处(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)、稀释处(chu)(chu)(chu)(chu)(chu)理(li)及(ji)以上几(ji)种方(fang)式(shi)的组合(he)。

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