开云真人(中国)有限责任公司

新闻资讯

硅烷的应用及供气系统操作说明

发布时(shi)间:2022-11-02 | 游览(lan):573

内(nei)容(rong)摘要:硅(gui)烷即(ji)硅(gui)与氢的化(hua)合物(wu),是一系列(lie)化(hua)合物(wu)的总称,包括甲硅(gui)烷( SiH4) 、乙硅(gui)烷( Si2H6) 和一些更高级的硅(gui)氢化(hua)合物(wu)。

硅(gui)(gui)烷(wan)即硅(gui)(gui)与氢的(de)化(hua)合物(wu),是一(yi)系列化(hua)合物(wu)的(de)总称(cheng),包括(kuo)甲(jia)(jia)硅(gui)(gui)烷(wan)( SiH4) 、乙硅(gui)(gui)烷(wan)( Si2H6) 和(he)一(yi)些更高级的(de)硅(gui)(gui)氢化(hua)合物(wu)。目前(qian)应用最多(duo)的(de)是甲(jia)(jia)硅(gui)(gui)烷(wan)。一(yi)般把甲(jia)(jia)硅(gui)(gui)烷(wan)简称(cheng)做硅(gui)(gui)烷(wan)。

硅烷的(de)应用

1,高纯硅(gui)烷跟高纯氨气一起用于生产(chan)(chan)太阳能薄膜电池将硅(gui)分子附(fu)着(zhe)于电池表面2,跟高纯乙(yi)烯一起用于LOW-E镀(du)膜玻璃的生产(chan)(chan)

3,高纯硅(gui)烷(wan)应用于大规模集成电路(lu)的外延生长工(gong)艺中用作硅(gui)源,

4,应用于(yu)国防、军事工业的研发(fa)、生(sheng)产(chan)

5,硅烷在平板显(xian)示生产中也有(you)重要的用途,

6,用于低温二氧(yang)化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操(cao)作说明

用(yong)一个减压(ya)器或独立的控制阀安全(quan)地从(cong)气瓶(ping)内释放硅烷。用(yong)单向阀来防止倒(dao)流(liu)。不要用(yong)明火或其(qi)它附近(jin)的热(re)源加(jia)热(re)钢瓶(ping)的任(ren)何部分。

使(shi)用防火花工具(ju)。不要试图对装有(you)硅(gui)烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。

用氢(qing)离子(zi)检测器(qi)监(jian)测硅烷(wan)的修理和在空气中的扩(kuo)散(san),用红外(wai)/紫(zi)外(wai)监(jian)测器(qi)监(jian)测火灾 。所以的监(jian)测器(qi)都应有内锁(suo),一(yi)旦发现问题(ti)立即自动切(qie)断硅烷(wan)气源。

如果出(chu)现故障或(huo)其他操作问题,请(qing)立即(ji)与最近的分销商联(lian)系。

硅烷系(xi)(xi)统中不允(yun)许(xu)(xu)使(shi)用填压阀,只允(yun)许(xu)(xu)使(shi)用非填压的膜阀和波纹管(guan)阀。在其分(fen)配系(xi)(xi)统中应(ying)安装(zhuang)过流阀或过流开关。这样可以(yi)在下游管(guan)线发生爆炸时切断气(qi)源。这个开关阀应(ying)安装(zhuang)得(de)离气(qi)源越(yue)近越(yue)好。

如(ru)有(you)可能应(ying)避免单独一个人操作钢(gang)瓶。所有(you)的操作都(dou)应(ying)这样进(jin)行,一旦发生(sheng)泄漏,处理紧(jin)急情况的人员可以立即赶到。

监(jian)测(ce)系(xi)统(tong)应(ying)(ying)装备备用或应(ying)(ying)急电源(yuan)。必须(xu)有(you)遥控紧急开关,必要时可关闭硅(gui)烷气源(yuan)。

一定(ding)不要拉、滚动(dong)或滑动(dong)容(rong)器。用(yong)合适的(de)手推车来移(yi)动(dong)容(rong)器,不要试图抓住气瓶的(de)盖子来拎(lin)起它。保证气瓶在使(shi)用(yong)的(de)全过(guo)程(cheng)中为固定(ding)状态。

不可(ke)将工具(如:扳手,螺丝(si)刀,等) 插入阀盖内。 否则会(hui)损坏阀门并引起泄漏。

一旦钢(gang)瓶与吹扫和钝化过的系统(tong)连接好,应缓慢仔细地打开(kai)钢(gang)瓶阀(fa)。如果使用(yong)者(zhe)在操(cao)作气瓶阀(fa)时有困难,需(xu)停止使用(yong),并与供应商(shang)联系。

使用可调节的(de)带扳手来打开过紧或生锈的(de)阀盖。所有管路和相关(guan)设(she)备(bei)接地。电器设(she)备(bei)必须防火花和防爆(bao)。

本篇内容来源于网络,如有侵权,请联系删除