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高(gao)(gao)纯(chun)气(qi)(qi)(qi)体广泛用(yong)于电子(zi)器件生产工艺(yi)中。按(an)工艺(yi)中高(gao)(gao)纯(chun)度(du)气(qi)(qi)(qi)体的不(bu)同用(yong)途，可将其(qi)分(fen)为保护(hu)气(qi)(qi)(qi)、反应气(qi)(qi)(qi)和载气(qi)(qi)(qi)，用(yong)作保护(hu)气(qi)(qi)(qi)的有氢气(qi)(qi)(qi)、氮气(qi)(qi)(qi)、氧气(qi)(qi)(qi)及其(qi)混合气(qi)(qi)(qi)。在(zai)国内为获取氢气(qi)(qi)(qi)和氨(an)气(qi)(qi)(qi)，为获得(de)较(jiao)高(gao)(gao)纯(chun)度(du)的氢气(qi)(qi)(qi)，一般都采用(yong)电解(jie)纯(chun)水的方法制取。这种方法需用(yong)大量电能来电解(jie)水，一般达4.5~5.5kWh/Nm3H2，致(zhi)使成本很(hen)高(gao)(gao)。

为减少电能消(xiao)耗，降低(di)成本(ben)，都在研制和(he)应(ying)用(yong)各(ge)种混合(he)气(qi)。其(qi)中，氮(dan)氢(qing)混合(he)气(qi)将(jiang)成为电子器件(jian)生产应(ying)用(yong)中的(de)“福音”。以应(ying)用(yong)氮(dan)氢(qing)混合(he)气(qi)居多(duo)。国外多(duo)采用(yong)液态氢(qing)和(he)液态氮(dan)汽(qi)化法获得氮(dan)氢(qing)混合(he)气(qi)，也有采用(yong)液氮(dan)分解法获得氮(dan)氢(qing)混合(he)气(qi)的(de)。

用液(ye)氢和(he)液(ye)氮(dan)(dan)汽化来获得(de)(de)氮(dan)(dan)氧混(hun)(hun)合气的(de)方(fang)法，由(you)(you)于采用了液(ye)化后再(zai)汽化的(de)工艺，故其投资(zi)和(he)成(cheng)本(ben)均较(jiao)高(gao)(gao)。国(guo)外，由(you)(you)于生(sheng)产的(de)专业化程(cheng)度高(gao)(gao)，使用单位(wei)多(duo)采用这种方(fang)法获得(de)(de)混(hun)(hun)合气。国(guo)内若(ruo)从专业厂(chang)或(huo)大型联合企业的(de)副(fu)产物获得(de)(de)液(ye)氢和(he)液(ye)氮(dan)(dan)，其成(cheng)本(ben)要比电(dian)解(jie)氢和(he)“空分”氮(dan)(dan)获得(de)(de)的(de)氢气与(yu)氯气高(gao)(gao)出几倍。由(you)(you)液(ye)氨分解(jie)获得(de)(de)的(de)氮(dan)(dan)氧混(hun)(hun)合气，由(you)(you)于液(ye)氮(dan)(dan)来源(yuan)不同，大多(duo)数质(zhi)(zhi)量(liang)较(jiao)差，其中仍含有未分解(jie)的(de)氨、水和(he)氧等(deng)杂质(zhi)(zhi)。此外，液(ye)氮(dan)(dan)多(duo)来源(yuan)于化肥厂(chang)，目前，供应上较(jiao)紧张，故成(cheng)本(ben)也较(jiao)高(gao)(gao)。

氮氢混合气(qi)不(bu)仅可在生(sheng)产电子器件(jian)时取代氧气(qi)用(yong)作保(bao)护气(qi)，还(hai)可广泛(fan)用(yong)于冶金、化(hua)工、机械等行(xing)业。一旦广泛(fan)推广应用(yong)，必将产生(sheng)可观(guan)的经济效益(yi)和社会效益(yi)。